Trong quy trình lắng đọng hơi hóa học từ plasma (PECVD), mọi kết nối điện, từ truyền tải điện năng tần số vô tuyến đến điều khiển khí xử lý, đều ảnh hưởng trực tiếp đến độ đồng đều của quá trình lắng đọng màng mỏng và năng suất chip. Đối mặt với môi trường khắc nghiệt của thiết bị thu nhỏ, chân không cao và nhiễu điện từ mạnh,WAGOCác đầu nối picoMAX®, với ba ưu điểm cốt lõi là "nhỏ gọn, đáng tin cậy và hiệu quả", đã trở thành giải pháp kết nối lý tưởng cho các hệ thống PECVD.
Thiết kế nhỏ gọn, sáng tạo
Thích ứng với bố cục buồng chính xác
Không gian bên trong thiết bị PECVD bị hạn chế, đòi hỏi phải bố trí dày đặc các đường dây nguồn, tín hiệu và cảm biến xung quanh buồng phản ứng. picoMAX® sử dụng thiết kế lò xo đơn, tác động kép, với nhiều khoảng cách chân cắm 3,5/5,0/7,5mm. Sau khi kết nối, nó chiếm ít hơn 30% không gian so với các sản phẩm trước đây, hoàn toàn phù hợp với yêu cầu đi dây xung quanh buồng. Đầu nối kiểu lỗ của nó được nhúng gần như hoàn toàn vào đầu chân cắm, hỗ trợ lắp ráp cạnh nhau mà không làm mất cực, cải thiện đáng kể việc sử dụng bảng mạch và cho phép bố trí gọn gàng các đường dây tín hiệu và nguồn mà không gây cản trở trường dòng khí xử lý.
Khả năng bảo vệ mạnh mẽ chống lại các điều kiện vận hành khắc nghiệt
Các quy trình PECVD liên quan đến môi trường chân không cao, plasma tần số cao và rung động, đặt ra những yêu cầu khắt khe đối với độ tin cậy của đầu nối. picoMAX® có cấu trúc ổn định với khả năng chống rung lên đến 12g, ngăn ngừa hiện tượng lỏng lẻo kết nối do rung động tần số cao. Nó cũng tích hợp thiết kế chống lắp sai và thiết bị khóa, loại bỏ lỗi lắp đặt và ngăn ngừa việc ngắt kết nối ngoài ý muốn, đảm bảo thiết bị hoạt động liên tục mà không bị gián đoạn.
Kết nối nhanh không cần dụng cụ
picoMAX® sở hữu công nghệ kết nối nhanh không cần dụng cụ, cho phép kết nối "cắm và giữ" cho cả dây đơn và dây đa sợi với đầu nối ép nguội. Các kết nối dây phức tạp được hoàn thành chỉ trong một bước, cải thiện đáng kể hiệu quả lắp ráp và rút ngắn chu kỳ gỡ lỗi. Thiết kế dạng mô-đun tương thích với quy trình hàn chảy lại, đáp ứng nhu cầu giảm chi phí của sản xuất tự động. Nó cũng bao gồm tất cả các kịch bản kết nối PECVD: khoảng cách chân 3,5mm phù hợp với dây tín hiệu 0,2-1,5mm², trong khi khoảng cách chân 5,0/7,5mm hỗ trợ đường dây nguồn 16A. Nó hỗ trợ các phương pháp lắp đặt dây vào bo mạch và xuyên tường, tương thích với hệ thống dây dẫn trong tủ điều khiển và khoang rỗng, và tuân thủ các tiêu chuẩn an toàn điện GB/T 5226.1, tạo nền tảng vững chắc cho sự ổn định của quy trình.
Trong ngành công nghiệp bán dẫn, nơi độ chính xác quy trình ở cấp độ nanomet là tối quan trọng, các kết nối đáng tin cậy là yếu tố đảm bảo năng suất cao.WAGOVới ý tưởng thiết kế sản phẩm mang tính cách mạng, picoMAX® đạt được "kích thước nhỏ, hiệu suất cao" trong một thiết kế nhỏ gọn, cung cấp các giải pháp kết nối ổn định, hiệu quả và bền lâu cho thiết bị PECVD. Điều này giúp các nhà sản xuất bán dẫn vượt qua những thách thức về kết nối quy trình chính xác, bảo vệ độ chính xác ở mức micromet của từng con chip.
Thời gian đăng bài: 13/03/2026